01 — Shower Head

Ni PLATING

300mm Flat Type

표준형 300mm 샤워헤드.

MaterialAl6061

ProcessCVD / ALD

Hole Type모래시계 Type · Honeycomb / Circular Pattern

Ni PLATING

300mm MD Type

Hole Depth 26T 구조의 샤워헤드.

MaterialAl6061

ProcessCVD / ALD

Hole Type모래시계 Type · Honeycomb / Circular Pattern

300mm Arc Type

날개가 두꺼운 Arc 구조의 샤워헤드.

MaterialAl6061

ProcessCVD

Hole Type모래시계 Type · Honeycomb / Circular Pattern

Detachable Type

분리·조립이 가능한 모듈형 — 정비성과 교체성 우선.

MaterialAl6061 · Al5052

ProcessCVD

Hole TypeStraight Type · 홀 9,800개 · Circular Pattern

EBEAM WELDING

Welding Type

이빔 용접 일체형 — 미세 누설을 차단합니다.

MaterialAl6061 · Al5052

ProcessCVD

Hole TypeStraight Type · 홀 9,800개 · Circular Pattern

EBEAM WELDING

Dual Type

이종 재질 접합형 — 이빔 용접으로 미세 누설 방지.

MaterialAl6061 · SUS

ProcessCVD / ALD

Hole TypeStraight Type

02 — Core Parts

EBEAM WELDINGNi PLATING

Gas Box

가스 분배·차단 유닛 — 이빔 용접으로 일체화 가공.

MaterialAl6061 · Al5052

ProcessCVD

EBEAM WELDING

Susceptor (Inner / Outer)

웨이퍼 히팅 플레이트 — 이빔 용접으로 변형 최소화, 평면도 공차 0.02mm.

MaterialAl6061

ProcessCVD / ALD

Liner

챔버 내벽 라이너 — 내플라즈마 가공면 처리.

MaterialAl6061 · SUS

ProcessEtch

Hole Type내벽 가공

Plate

장비 상·하부 플레이트 — 평면도·평행도 동시 관리.

MaterialAl6061

ProcessCVD

Hole TypeStraight Type

Baffle

가스 유동 제어 부품 — 미세 홀 분포 최적화 가공.

MaterialAl6061

ProcessCVD / Etch

Hole TypeStraight Type

03 — Parts

Housing — Cooling / Vacuum

냉각 라인 일체형 하우징 모듈 — 정밀 조립과 누설 검사 완비.

MaterialAl6061

ProcessMachining

Ring / Isolator

장비 챔버용 정밀 가공 링·절연 부품.

MaterialPEEK · Al6061

ProcessCVD

Plate

장비용 정밀 가공 플레이트.

MaterialAl6061

ProcessCVD

Insulator

고전압 절연용 정밀 부품.

MaterialTEFLON

ProcessCVD