01 — Shower Head
Ni PLATING
300mm Flat Type
标准型300mm Shower Head。
MaterialAl6061
ProcessCVD / ALD
Hole Type沙漏型 · Honeycomb / Circular Pattern
Ni PLATING
300mm MD Type
孔深26T结构的 Shower Head。
MaterialAl6061
ProcessCVD / ALD
Hole Type沙漏型 · Honeycomb / Circular Pattern
300mm Arc Type
翼部加厚的 Arc 结构 Shower Head。
MaterialAl6061
ProcessCVD
Hole Type沙漏型 · Honeycomb / Circular Pattern
Detachable Type
可拆装的模块化设计 — 维护性与可更换性优先。
MaterialAl6061 · Al5052
ProcessCVD
Hole Type直孔型 · 9,800孔 · Circular Pattern
EBEAM WELDING
Welding Type
电子束焊接一体型 — 阻断微泄漏。
MaterialAl6061 · Al5052
ProcessCVD
Hole Type直孔型 · 9,800孔 · Circular Pattern
EBEAM WELDING
Dual Type
异种材料接合型 — 应用电子束焊接防止微泄漏。
MaterialAl6061 · SUS
ProcessCVD / ALD
Hole Type直孔型
02 — Core Parts
EBEAM WELDINGNi PLATING
Gas Box
气体分配/切断单元 — 电子束焊接一体化加工。
MaterialAl6061 · Al5052
ProcessCVD
EBEAM WELDING
Susceptor (Inner / Outer)
晶圆加热盘 — 电子束焊接最小化变形，平面度公差0.02mm。
MaterialAl6061
ProcessCVD / ALD
Liner
腔体内壁衬套 — 耐等离子加工面处理。
MaterialAl6061 · SUS
ProcessEtch
Hole Type内壁加工
Plate
设备上·下部板件 — 平面度与平行度同步管理。
MaterialAl6061
ProcessCVD
Hole Type直孔型
Baffle
气流控制零件 — 微孔分布优化加工。
MaterialAl6061
ProcessCVD / Etch
Hole Type直孔型
03 — Parts
Housing — Cooling / Vacuum
冷却管路一体型外壳模块 — 精密组装并完成泄漏检测。
MaterialAl6061
ProcessMachining
Ring / Isolator
设备腔体用精密加工环·绝缘零件。
MaterialPEEK · Al6061
ProcessCVD
Plate
设备用精密加工板件。
MaterialAl6061
ProcessCVD
Insulator
高电压绝缘用精密零件。
MaterialTEFLON
ProcessCVD